细孔放电加工（Electro Chemical Micro Drilling, ECMD），也称作电解微孔加工技术，是通过产生的高浓度的阳离子，在工件表面上腐蚀形成精密小孔，以达到加工小孔目的的一种技术。这是一种新兴的加工技术，具有制作超精密小孔及微型结构的能力，能够满足对于特制器件以及微电子器件的高精度制造的客户需求。

ECMD加工技术具有以下特性：一是它的切削力小，即使切削深度较深的工件，也不会引起表面变形；二是它具有比较宽的材料适应范围，可用于切削各种金属、碳素、类金属等材料；三是ECMD技术的加工粗糙度较低，可达到微米尺寸的要求；四是它具有良好的可重复性，可以保证在同一台机器上每台加工产品的性能一致。

细孔放电加工原理是：在极化液中，利用阴极电荷释放通过的电子产生的加工电流，使其形成电解电场，使阳离子和微粒运动相对稳定，从而对工件表面进行低电位溶解，形成细孔。

ECMD是制造微特殊部件的有效加工及分割方法。未来，将在航空航天、通信、汽车等众多领域应用。ECMD无论在准确性、精度、稳定性、速度等方面都具有很强的优势，未来还将有更多应用需求。