细孔放电加工，又称为钻孔电火花诊断加工，是一种不必浸入液体的电火花缺陷探测技术。它不仅能够提供精确的加工孔尺寸，还可以检测诸如亚米尺寸裂缝、空气孔、剥离、应力疲劳、显微夹杂物等微小缺陷。

细孔放电加工能够提供直径高达50微米以及深度高达100微米的精确加工孔。它采用单点电火花加工技术，工件不受水冷度的限制，令加工过程中不产生热量。这种缺陷检测技术非常适用于集成电路、太阳能电池、精密器件以及其他微小零件的加工。

此外，细孔放电加工也支持加工平台回转，令加工范围更广，效率也更高。无论是复杂的槽形孔，还是集成电路技术的凹槽，细孔放电加工都可精确地完成，就算是金属材料表面剥离或是亚米尺寸裂缝，它也能够对其进行缺陷检测，及时发现问题，是整个加工生产过程中不可或缺的一部分。

以上就是关于细孔放电加工的简单介绍，它是一种在加工集成电路等精密零件时必不可少的加工技术，可提供平台回转加工，具有更高的加工效率以及准确性。