细孔放电加工是该行业中一种技术成熟、成熟的加工技术，它主要使用旋转式等离子体来放出带有高能量的电子束，以高频率离子化原料，然后借助气流的压力使化合物和气体混合，最终将其变成微粒，形成微粒熔摩焊接的技术。细孔放电加工不仅擅长切割精细结构的零件，还可以用于表面处理，清洗，喷塑，改变表面粗糙度，甚至去掉一些腐蚀性零件的表面氧化物等等。

细孔放电加工的过程主要由三步组成：热处理，预加工和精加工。热处理是增加加工精度和缩减加工过程的过程，通常在热处理的过程中，使加工夹具和材料更加紧实，使机械精度更加稳定，使微机电系统更加安全和可靠。预加工过程包括切削加工，流体加工和火花加工处理，这些过程可以有效地细化微机电系统的表面结构，更好地塑造其外观。精加工过程主要包括等离子处理，电镀或细孔放电加工，这些处理方法可以在微米或纳米尺度上制造出精确的结构和形状，使微机电系统的表面工艺更加精良。

总之，细孔放电加工是当前微机电系统加工技术中的一种重要方法，它既可以切削复杂精细结构的零件，又能够进行精准的表面处理，使得工件达到追求的精度和质量。细孔放电加工的优越性体现在加工速度快，它专业的加工方法可以节省时间和费用，提供的加工质量也能满足批量生产要求。