细孔放电加工（Micro EDM，简称MEDI或μEDM）是一种高精度加工技术，它已经在世界上的工程应用中得到了广泛的应用。

1979年，英国工程师哈特梅尔发明了细孔放电加工，并公开发表论文，这是细孔放电加工技术发展史上的一个重要里程碑。

80年代中期，西班牙一家工厂发明了第一台μEDM机器，并在1989年实现了工业化生产，并被当时的全球企业广泛应用。

90年代，随着微电子技术和微机芯片技术的发展，微型放电加工技术发展迅速，使高精度放电加工技术投入到了全球各个行业的应用推广过程中，改善了传统技术的加工精度、精细度、时间和生产效率，特别是在医疗器械和航空航天行业，各种针、模具、仪器等电子设备行业，得到了广泛的应用。

近年来，随着微电子设备技术的不断发展，细孔放电加工技术已经越来越成熟，加工精度从微米级迈进到了纳米级，加工孔径可以达到毫米以下，加工速度可以达到毫秒/毫米以下，而且在高耗能、高温的环境下，加工孔径尺寸稳定性非常好，能够有效实现高精度加工、套刻和表面处理。

总之，细孔放电加工技术的发展历程令人叹服，它把传统生产技术和工艺作坊的生产效率提高到了另一个层次，更重要的是，它也改变了社会生产和生活方式。

这是细孔放电加工技术发展史，也是微电子设备技术发展史的重要组成部分。