细孔放电加工，也被称为精密穿孔放电加工，是在细小范围内进行精密加工脆性材料的一种制造技术。其基本原理是通过放电技术，在材料表面上形成小的孔洞，以达到精密加工的目的。从材料状态来说，脆性材料要比非脆性材料易于放电，例如金属、陶瓷、石英、玻璃等材料，Silicon晶片等硅片都可通过此种方法进行处理。

除了获得标准化的细孔放电加工外，精密穿孔放电加工也能达到较高的精度要求，比如较小的孔洞要求、较低的基准深度要求、较精细的外形要求等。

细孔放电加工在航天航空以及微电子工程中有着非常重要的应用，无论是热敏尺、温度传感器、激光器、光固件等都需要其特殊形状的精密处理，而细孔放电加工可以非常准确的满足这些需求。

传统的细孔放电加工机器通常比较大型，处理的材料受限，且投资成本也较高，而现代新型的精密穿孔放电加工机器及其相关设备比以前更紧凑，通过增加改进夹力的设计，使得细小范围内材料的处理更加容易，更灵活地定制多种多样材料，更精确地实现孔径精度。最近还发明了一种号称六轴视觉定位机器人，这样可以大大提高工作效率，极大地缩短加工时间。

细孔放电加工技术开启了精密加工的新时代，它不仅工作效率高，而且加工精度也得到了很大的提高，正在推动精密加工技术的新发展，引领着工艺技术走向更为深入的领域。